KW系列匀胶机

英文叫SpinCoater或者SpinProcessor，又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机。

KW系列匀胶机适应于半导体硅片，载玻片，晶片，基片，ITO导电玻璃等工艺，制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点，并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配无油真空泵一起使用。

 基于中科院微电子所技术升级改造

目前型号有KW-4A型，KW-5型与新型号KW-4B型。

产品主要特点：

1、开关电流调速，稳定性能更好，转速调节以数字显示为准。

2、转速在500～8000转／分范围内非常稳定。

3、采用双转速。在启动之后，先以低速运转，使胶摊开，然后自动转换到高速运转。两种转速及相应的时间分别可调，时间分别控制在1～18秒和3秒～1分钟。

4、具有定时功能。

5、测速采用光电的办法，产生光电脉冲，由晶体分频测速准确性高。

6、”吸片”采用电磁阀控制气路，一个气泵可同时带几台匀胶机工作，适合流水线的工艺，提高了效率。

7、在安装结构上，采取了减振措施，保证了在运转时噪音低。

KW-4A型匀胶机

1、调速范围和匀胶时间

Ⅰ档　调速范围：500-2000转／分　　Ⅰ档　匀胶时间：2-18秒

Ⅱ档　调速范围：1300-8000转／分　　Ⅱ档　匀胶时间：3-60秒

2、适用：Φ5-Φ120mm硅片及其它材料等匀胶。

3、LED数字显示，转速稳定度：±1％，胶的均匀性：±3％。

4、电机功率：40W，单相220V供电

5、真空泵抽气速率≥60升／分

6、体积小，重量轻，操作简便

7、KW-4A型匀胶机新增功能：1.按键互锁防止飞片。2.面板控制泵的开关。3.带倒计时显示功能

仪器尺寸：210×220×160mm

新型KW-4B型(KW-4A型升级版)匀胶机

1、调速范围和匀胶时间

Ⅰ档　调速范围：50-9000转／分　　Ⅰ档　匀胶时间：1-999秒

Ⅱ档　调速范围：50-9000转／分　　Ⅱ档　匀胶时间：1-999秒

2、适用：Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等匀胶。

3、双LED数字显示，带倒计时显示功能，采用闭环调节方式，转速稳定度：±0.5％，胶的均匀性：±1％。

4、单按键控制电机启动，暂停，复位，单片机延时控制电磁阀启动与停止。

5、电机功率：40W，单相100-240V供电

6、真空泵抽气速率≥60升／分

7、机身采用不锈钢材质，体积小，重量轻，操作简便

仪器尺寸：210×220×160mm