作用：

· 采用岛津的Ｘ射线聚光透镜[集束毛细管透镜]，X射线只照射样品的50μmφ微小领域，实现高灵敏度、高分析。 

· 可以在大气中进行从轻元素到重元素(Na～U：μEDX-1300；Al～U：μEDX-1200/ 1400)的分析。 

· 配备双CCD(高倍率,低倍率)摄像头，可以在观察样品图像的同时方便地决定分析位置，进行分析。 

· 标准配备无标样定量FP法、薄膜成分/膜厚分析用的薄膜FP法以及可以测定聚合物薄膜的背景基本参数（BG-FP）法。 

· 作为微区Ｘ射线荧光光谱分析装置，在世界上率先配备了5种1次Ｘ射线滤光片自动交换机构，可消除来自Ｘ射线管的特征Ｘ射线，提高信噪比。 

· 配备多元素同时/自动扫描成图功能。采用高速扫描成图，在短时间内便可获得图像(μEDX-1200/1300)。追加透射观察单元(选购)，也可进行透射Ｘ射线的同时测定。 

· 配备电子冷却式高计数率检测器。无需液氮，可进行高分析。
(μEDX-1400) 

· 可轻松地进行电子材料/部件的镀层膜厚測定、异物检测、失效解析及成图分析。

　产品详细参数

  1．分析原理： 能量散X射线荧光分析法
    2．分析元素： K ～U任意元素, 铅（Pb）、汞（Hg）、六价铬（Cr6+）、     多溴联苯（PBB）和多溴联（PBDE）中的溴
    3．工作条件： 工作温度：10-30℃ 相对湿度：≤70%
       电源：AC 220 V±10%、50/60 Hz
    4．技术指标 新高灵敏度探测器（分辨率达149Ev），精密的放大电路，
       提高Cd、Pb元素的灵度。
       检出下限(Cd/Pd)：Cd/Cr/Hg/Br≦2 ppm, Pb≦5 ppm
       样品形状：任意大小，任意不规则形状
       样品类型：塑胶/金属/薄膜/粉末/液体
       小样品腔尺寸：300×300×100mm
       大样品腔尺寸：样品尺寸不受限制
       X射线管： 靶材/Mo 管电压/5～50 kV 管电流/1～1000 μA
       照射直径： 2、5、8mm
       探测器： Si(PIN)半导体高灵敏度探测器
       滤光片： 八种新型滤光片自动选择
       样品定位： 微动载物平台（选配）
       样品观察： 130万分辨率彩CCD摄像机
       微区分析： X光聚焦微区分析系统（选配）软件
       定量分析： 理论Alpha系数法(NBS-GSC法)
       数据处理： PC/AT/内存/256 MB 以上/硬盘/80G以上，Windows XP系统。