NANO MASTER(那诺-马斯特)的NEE-4000是全自动电子束蒸发系统，双腔配置支持样平台所在的主腔体跟电子束源所在的二级腔体的真空分开控制，使得主腔体在放取片时二级腔体仍然保持真空状态，大大提高处理效率。

电子束蒸发系统

        NANO-MASTER(那诺-马斯特) NEE-4000电子束蒸发系统为双腔体的配置，其中样品台位于主腔体内，二级腔体则用于安置电子束源。这种在两个腔体之间带有门阀的配置可以作为预真空锁，使得电子束源腔体保持真空的情况下，实现基片通过主腔体放入基片到样平台(或夹具)上或从中取出。在需要自动装/卸载基片时，他可以通过第三方的预真空锁来实现，这可以设置于立方体的左侧。通过PC计算机控制，系统可以提供多电子束源的共蒸发能力，以及对组分或组分梯度进行编程的能力。

产品特点：

• 顺序蒸发或共蒸发

• 双电子束源

• 多凹槽电子枪

• 可编程电子束扫描

• 10KW开关电源

• 涡轮分子泵，极限真空5x10-7Torr

• 手动上片，带预真空锁

• 自动上片

• 材料和衬垫更换非常方便

• 晶振式膜厚监测仪

• 通过LabView软件实现PC计算机控制

• 菜单驱动，四级访问密码保护

产品型号：

• NEE-3500：计算机全自动控制的紧凑型独立系统

• NEE-4000：计算机全自动控制的独立系统