NANO MASTER(那诺-马斯特)提供全面应用的全自动磁控溅射系统，可用于电镜样品制备，也可以选择DC和RF溅射，用于沉积金属、氧化物和氮化物。主要型号包含NSC-1000，NSC-3000，NSC-3500，NSC-4000。

磁控溅射系统

        NANO-MASTER(那诺-马斯特)先进的全自动溅射系统带有水冷或者加热(可加热到700度)功能的8"旋转样平台,可支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵，极限真空可达10-7 Torr，15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过使用RF射频开关，RF射频或DC直流电源可以切换到多磁控管模式。通过调整磁控管与基片之间的距离，可以获得想要的均匀度和沉积速度。带有偏轴磁控管的旋转样品台，提供了的薄膜均匀性。晶振式厚度监测仪提供了系统可以自动终止工艺的能力。

产品特点：

• 不锈钢，铝质腔体或钟罩式耐热玻璃腔

• 70，250或500 l/s的涡轮分子泵，串接机械泵或干泵

• 13.56MHz，300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源

• 晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率

• 带观察视窗的腔门易于上片

• 基于LabView软件的PC计算机全自动控制

• 带密码保护功能的多级访问控制

• 完全的安全联锁

选配项：

• 向上、向下或侧面溅射

• RF、DC以及脉冲DC溅射

• 共溅射、反应溅射

• 组合溅射

• RF或DC偏压（1000V）

• 样品台可加热到700°C

• 膜厚监测仪

• 基片的RF射频等离子清洗

• 预真空锁以及自动晶圆片上/片

应用：

• 晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆

• 光学以及ITO涂覆

• 带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆

• 带RF射频等离子放电的反应溅射

型号：

• NSC-4000：基于PC计算机全自动控制的独立式系统

• NSC-3500：基于PC计算机全自动控制的紧凑型独立式系统

• NSC-3000：PC计算机全自动控制的台式系统

• NSC-1000：半自动控制的台式系统

• (以下为双系统型号)

• NSR-4000：溅射/RIE系统

• NSP-4000：溅射/PECVD系统

• NST-4000：溅射/热蒸发系统

                                                               NSC-1000