NANO MASTER(那诺-马斯特)提供的双蒸发源系统支持标准坩埚，用于有机和金属材料的热蒸发。设计充分考虑清洁、均匀度、可控性、可重复性、小占地面积，持续性控制加热器电流。型号包含NTE-3000，NTE-4000。

热蒸镀系统

        NANO-MASTER(那诺-马斯特) NTE-3000是一款PC计算机控制的台式热蒸发系统，在有机物和金属沉积方面具有广泛的应用。设备的设计经过非常慎重的考虑:在小的占地面积情况下实现干净、均匀、可控及可重复的工艺过程。它们具有低价格, 高性能以及高能力的特点，可满足于客户研发及小规模生产的应用要求。 NTE-3000热蒸发系统可以在设定的RMS电流下，或者在闭环的配置下操作，并且在这种情况下沉积速度的变化被用于调节RMS电流以维持恒定的沉积速度。

        NTE-4000是一个独立式热蒸发系统，提供更多的空间可用于支持额外的能力，如共蒸发、双蒸发以及溅射等。

产品特点：

• 可支持7”的方片或200mm的晶圆片

• 沉积速度可控

• 旋转的样品台

• 双坩埚或舟

• 2KVA SRC控制电源

• 晶振式膜厚监测仪

• 通过LabView软件实现PC计算机控制

产品型号：

• NTE-4000：基于PC计算机全自动控制的独立系统

• NTE-3500：基于PC计算机全自动控制的紧凑型独立系统

• NTE-3000：基于PC计算机全自动控制的双蒸发源台式系统

• NTE-1000：计算机控制的单蒸发源台式系统

                                                            带遮板的双坩埚源