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美国ALICAT MC系列可本地显示控制差压原理气体质量流量控制器 50毫秒内完成稳定的控制响应 美国ALICAT MC系列可本地显示控制差压原理气体质量流量控制器产品系列 量程:0-500 slpm。 MCS / MCRS 耐腐蚀系列 MCE / MCV 半导体行业专用系列 MCD / MCRD 双向质量流量&压力控制器系列 常用选配项 美国ALICAT MC系列可本地显示控制差压原理气体质量流量控制器技术指标 指标 质量流量控制器 ±0.8%读数±0.2%满量程(可选高:±0.4%读数±0.2%满量程) 重复性 ±0.2% 量程比 200:1 响应时间 100ms 标准状态(STP) 25℃&14.696PSIA (101.325kPa) 温度范围 -10~50 零点漂移 0.02% 量程漂移 0.02% 湿度范围 0-100% 测量流量范围 128%(过流率) 耐压 145psi 输出信号(数字) 质量流量、体积流量、压力和温度 数字信号可选 RS485,Modbus,Profibus 输出信号(模拟) 质量流量、体积流量、压力和温度 模拟信号可选 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA 电气连接 8针/9针/15针(根据不同类型流量计而定) 供电电压 7-30VDC(4-20mA输出时为:15-30VDC) 供电电流 0.035A(4-20mA输出时为:0.055A)
、稳定的流量取决于控制响应速度,美国ALICAT MC系列可本地显示控制差压原理气体质量流量控制器50毫秒内即可到达新的设定值。快速、可重复、稳定!
拥有可靠的稳定性及响应速度,艾里卡特?质量流量控制器总是一击击中,为快的质量流量控制器!采用艾里卡特?的层流压差流量测量技术与高速比例控制阀相结合,使得到达设定值的速度远远快过您眨一下眼。
操作便捷
? 50-100毫秒控制响应
? 允许用户自行调节PID以获得完美的速度和稳定性
? 定制化阀门孔径以保证满量程流量的稳定性
? 同一台设备控制质量流量、体积流量或压力
? 瞬间启动、无需预热:1秒内即可开始流量控制
MC 标准系列
控制响应快、稳定的流量控制器。
MCR 大流量系列
控制大流量(50-3000 slpm)气体。艾里卡特?R系列阀门为的无摩擦阀门,可精密控制大流量的气体流量,特殊的孔状模式允许我们根据您的应用需求量身定制阀门。
MCW / MCRW 低压损系列
限度减小压损对系统的影响,满量程压损仅为4mbar(0.06 psid);艾里卡特?Whisper低压损系列质量流量控制器可控制接近大气压的压力,是航空航天、环境气体分析等应用的完美选择;
所有量程均可采用适用于腐蚀性气体的316L不锈钢结构。
可快速、简易地替换老化陈旧的热式流量控制器,可任意定制引脚功能使之与您的控制系统兼容,封闭式阀门设计更是符合半导体行业标准。MCV系列另增加了后置的气动截至阀 ,专门用于真空应用。可定制相应的防腐蚀系列MCES / MCVS。量程:0-20 slpm.
双向质量流量控制器,可正向或反向控制气体流量。可定制低压损系列MCDW系列及防腐蚀型MCDS系列。
? 后置阀门,优化真空及背压应用的控制
? 批量控制模式,依靠快速的阀门响应来分配流量,包含在累加器(TOT)功能中
? CSA1类2区 / ATEX1类2区允许设备用于危险环境
? 9针或15针D-Sub等连接接口可选
? 通讯模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可选
? 彩色背光显示屏适用于光线不足的场合
美国ALICAT MC系列可本地显示控制差压原理气体质量流量控制器