半导体／FPD检查显微镜 规格MX61LMX61光学系统UIS2光学系统（无限远校正）机身观察方法明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光反射/透射反射/透射照明装置机身一体型（明视场，暗视场＋1选件）照明系统反射照明100 W卤素/100 W水银/75 W氙透射照明纤维光导对焦单元电动/手动手动行程32 mm分辨率/微调灵敏度微调旋钮转动1周移动0.1 mm样本高度30 mm物镜转换器电动型明视场微分干涉6孔明暗视场微分干涉5孔明暗视场微分干涉6孔明暗视场微分干涉中心输出5孔手动式-载物台行程14×12英寸右下手柄： 
356（X）×305（Y）mm 
（透射照明范围356×284 mm）8×8 英寸右下手柄： 
210（X）×210（Y）mm 
（透射照明范围189×189 mm） 
6×6 英寸右下手柄： 
158（X）×158（Y）mm观察筒广角视场 
（视场数22）倒置双目/三目观察筒正像三目观察筒超宽视场 
（视场数26.5）倒置三目观察筒正像倾斜三目观察筒附件单元IR单元/电动载物台/自动装载外形尺寸710（W）×843（D）×507（H）mm 
（标准组合）509（W）×843（D）×507（H）mm 
（标准组合）重量51 kg（标准组合）40 kg（标准组合）