透反射高清金相显微镜
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FM-JX 100

一、透反射高清金相显微镜

透反射高清金相显微镜是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、冶金工业需求而开发的,作为金相显微镜用户在使用时能够体验其超强性能,可广泛应用于半导体、FPD、电路封装、电路基板、材料、铸件/金属/陶瓷部件、精密模具的检测。

透反射高清金相显微镜采用了落射和透射两种照明型式,在落射照明下可进行明暗场观察和DIC观察、偏光观察。在透射光下作明场观察。稳定、高品质的光学系统使成像更清晰,衬度更好。符合人机工程学的设计,使您在工作中感到舒适和放松。

二、主要技术参数

  称

  

光学系统

无限远光学系统,镜筒透镜f=200mm

观察镜筒

三目镜筒(带有0.3XCCD适配镜

  镜

1、超宽视场平场目镜WF10X/26mm    2WF10X/22mm,带0.1mm十字分划板

 

超长工作距离平场无限远明/暗场物镜:5X/NA0.20(W.D=14.47mm)、10X/NA0.25(W.D=16.0mm)、20X/NA0.40(W.D=10.5mm)50X/NA0.55(W.D=5.1mm)

物镜转换器

带DIC插孔的大四孔转换器

载物台

精密测量平台,移动范围50mmX50mm,3u+L/25

滤色片

滤色片(绿、蓝、中性)

调焦

电动调焦

光源

透射照明: LED灯5W,宽电压AC85V—260V,亮度连续可调

反射照明:科勒照明卤素灯12V50W,宽电压AC85V—260V,亮度连续可调,带孔径光阑和视场光阑

偏光装置

检偏镜可360度旋转。起偏镜、检偏镜均可移出光路

检测工具

标准标尺:0.01mm测微尺

 

选购件

1、    带测量功能的金相图像分析软件

2、    微分干涉(DIC)装置

3、超长工作距离平场无限远明/暗场物镜:80X/0.75(W.D=4.0mm)、100X/0.80(W.D=3.0mm)

4、300万像素、500万像素、800万像素、1000万像素CMOS

5、数显光栅尺

6、旋转工作台