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透 反 射 高 清 金 相 显 微 镜
FM-JX 100
一、透反射高清金相显微镜
透反射高清金相显微镜是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、冶金工业需求而开发的,作为金相显微镜用户在使用时能够体验其超强性能,可广泛应用于半导体、FPD、电路封装、电路基板、材料、铸件/金属/陶瓷部件、精密模具的检测。
透反射高清金相显微镜采用了落射和透射两种照明型式,在落射照明下可进行明暗场观察和DIC观察、偏光观察。在透射光下作明场观察。稳定、高品质的光学系统使成像更清晰,衬度更好。符合人机工程学的设计,使您在工作中感到舒适和放松。
二、主要技术参数
名 称 | 参 数 |
光学系统 | 无限远光学系统,镜筒透镜f=200mm |
观察镜筒 | 三目镜筒(带有0.3XCCD适配镜) |
目 镜 | 1、超宽视场平场目镜WF10X/26mm 2、WF10X/22mm,带0.1mm十字分划板 |
物 镜 | 超长工作距离平场无限远明/暗场物镜:5X/NA0.20(W.D=14.47mm)、10X/NA0.25(W.D=16.0mm)、20X/NA0.40(W.D=10.5mm)、50X/NA0.55(W.D=5.1mm) |
物镜转换器 | 带DIC插孔的大四孔转换器 |
载物台 | 精密测量平台,移动范围50mmX50mm,3u+L/25 |
滤色片 | 滤色片(绿、蓝、中性) |
调焦 | 电动调焦 |
光源 | 透射照明: LED灯5W,宽电压AC85V—260V,亮度连续可调 反射照明:科勒照明卤素灯12V50W,宽电压AC85V—260V,亮度连续可调,带孔径光阑和视场光阑 |
偏光装置 | 检偏镜可360度旋转。起偏镜、检偏镜均可移出光路 |
检测工具 | 标准标尺:0.01mm测微尺 |
选购件 | 1、 带测量功能的金相图像分析软件 2、 微分干涉(DIC)装置 3、超长工作距离平场无限远明/暗场物镜:80X/0.75(W.D=4.0mm)、100X/0.80(W.D=3.0mm) 4、300万像素、500万像素、800万像素、1000万像素CMOS 5、数显光栅尺 6、旋转工作台 |