1.             光机电一体化设计，外形结构简单；

2.             扫描探头和样品台集成一体，抗干扰能力强；

3.             精密激光检测及探针定位装置，光斑调节简单，操作方便；

4.             采用样品趋近探针方式，使针尖垂直于样品扫描；

5.             伺服马达手动或自动脉冲控制，驱动样品垂直接近探针，实现扫描区域定位；

6.             高大范围的样品移动装置，可自由移动感兴趣的样品扫描区域；

7.             高大范围的压电陶瓷扫描器，根据不同和扫描范围要求选择；

8.             自由变倍的CCD观测系统，实时观测与定位探针扫描样品区域；

9.             采用伺服马达控制CCD对焦和光学放大；

10.      模块化的电子控制系统设计，便于电路的持续改进与维护；

11.    集成多种扫描工作模式控制电路，配合软件系统使用。

1.             多通道图像同步采集显示，实时查看剖面图；

2.             多种曲线力-间距(F-Z)、频率-RMS（f-RMS）、RMS-间隙（RMS-Z）测量功能；

3.             可进行扫描区域偏移、剪切功能，任意选择感兴趣的样品区域；

4.             可任意选择样品起始扫描角度；

5.             激光光斑检测系统的实时调整功能；

6.             针尖共振峰自动和手动搜索功能；

7.             可任意定义扫描图像的色板功能；

8.             支持样品倾斜线平均、偏置实时校正功能；

9.             支持扫描器灵敏度校正和电子学控制器自动校正；

三、主要技术参数

名  称

参  数

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