Granville-Phillips 835VQM（真空质量监控仪）分压泵系统

Granville-Phillips的分压泵系统是获奖的高性能真空质量监控仪（VQMTM）的真空压力范围扩展产品。其具有所有VQM的优势特点，包括响应速度快和使用便捷，可用于工艺监测和工艺控制。

835分压泵系统（DPS）提供了许多实时信息，可用来优化PVD、离子注入、镀膜以及其他真空制程，从而提高产能、改善效果并节约资金。

835VQM DPS典型应用包括：

监控反应气体

确定工艺初始状态

检测污染物

控制反应气体注入量

检测泄漏

835VQM DPS产品特点：

工作压力从3Torr到5x10-9Torr

在85毫秒内完成质量数从1到145的气体分压力测量；并可提供1到300质量数范围的测量

可提供所识别的前十个比例的气体成分的即时信息包括趋势图

的氢气和氦气检测（无低质量数成分测量分压超全压现象）

85毫秒内完成1到145质量数全部样本数据的记录；120毫秒内完成1到300质量数全部样本记录

可利用真空系统内已有气体进行单一气体校准

紧凑型结构设计，可灵活安装

835VQM DPS标准系统配置

整个835 DPS系统以下组件

835VQM分压计

390802Micro-lon全压计

带孔板的节流阀

分子泵

粗抽泵带喉管

内部连接电缆线

VQM控制器

VQM浏览软件