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高激光干涉仪SJ6000产品介绍:
一、产品开发背景
激光干涉仪是以光波为载体,以光波波长为单位的一种计量测试方法,是公认的高、高灵敏度的检测手段,在高端制造领域应用广泛。目前,国产激光干涉仪无论在测量、测速,还是在测速下的分辨率及测量范围等方面,都与国外的产品有着一定的差距。由于技术上的差距,导致了国内的激光干涉仪市场一直由国外占领,且形成了价格垄断。SJ6000激光干涉仪在测量、测量速度等方面基本上达到进口品牌的水平,能够填补我国在中高端测量技术上的空白,打破国外在价格和技术上的垄断,推动激光干涉测量技术的普及,降低企业的检测成本,提升了我国在高精密测量方面的检测水平进而提高我国在高端制造领域的整体竞争力。
国内外典型激光干涉仪性能参数对比
Renishaw | API | Agilent | ZYGO | 成都工具所 | 中图仪器SJ6000 | |
单/双频 | 单频 | 双频 | 双频 | 双频 | 双频 | 单频 |
产生双频的方法 | / | 塞曼效应 | 塞曼效应 | 声光调制 | 塞曼效应 | / |
频差(MHz) | / | 4 | 4 | 40 | 1.2 | / |
激光稳频(ppm) | ±0.05ppm | ±0.05ppm | ±0.02ppm | ±0.1ppm | ±0.1ppm | ±0.05ppm |
测速(mm/s) | 4000 | / | 3000 | 5100 | 2000 | 4000 |
分辨率(nm) | 1 | 1 | 1 | 0.31 | 20 | 1 |
测量范围(m) | 80 | 45 | 40 | 40 | 20 | 40 |
线性测长(ppm) | ±0.5 | ±0.5 | ±0.4 | ±0.5 | ±1.5 | ±0.5 |
针对国产激光干涉仪测量低、测量速度小、测量系统操作复杂、测量功能少、检测过程复杂、数据不客观等缺点和不足,以及国外激光干涉仪价格昂贵等因素,我司于2015年在国内推出高性能重大产品——高精密SJ6000激光干涉仪。
该产品具有测量高、测量速度快、测速下分辨率高、测量范围大等优点。测量范围广:通过与不同的光学组件结合,可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何的测量;在相关软件的配合下,还可以对数控机床进行动态性能检测,如可以测量数控机床的定位、重复定位、微量位移等动态参量,可以进行机床振动测试与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性分析等,具有极高的和效率,而且及时处理数据,为机床误差修正提供依据.
武汉科赛思机电有限公司是一家专营工业检测、光学检测、环境检测、无损检测、材料检测、水质分析、气体检测、通用分析、生命科学、基础量具、试验机等仪器设备销售、咨询、售后维修服务的性公司;是目前国内的几何量计量、形位公差类超精密仪器销售服务商。
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