一.激光干涉仪概述

激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。

二.激光干涉仪应用

（1）几何检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。

（2）位置的检测及其自动补偿 可检测数控机床定位、重复定位、微量位移等。利用中图SJ6000激光干涉仪不仅能自动测量机器的误差，而且还能通过RS232接口自动对其线性误差进行补偿，比通常的补偿方法节省了大量时间，并且避免了手工计算和手动数控键入而引起的操作者误差，同时可限度地选用被测轴上的补偿点数，使机床达到，另外操作者无需具有机床参数及补偿方法的知识。

（3）数控转台分度的检测及其自动补偿 现在，利用SJ6000激光干涉仪加上转台基准还能进行回转轴的自动测量。它可对任意角度位置，以任意角度间隔进行全自动测量，其达±1。新的国际标准已推荐使用该项新技术。它比传统用自准直仪和多面体的方法不仅节约了大量的测量时间，而且还得到完整的回转轴曲线，知晓其的每一细节，并给出按相关标准处理的统计结果。

（4）数控机床动态性能检测 利用CHOTEST动态特性测量与评估软件，可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析（FFT），滚珠丝杠的动态特性分析，伺服驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性（低速爬行）分析等

三.激光干涉仪使用注意事项

1、仪器应放置在干燥、清洁以及无振动的环境中应用。

2、在移动仪器时，为防止导轨变形，应托住底座再进行移动。

3、仪器的光学零件在不用时，应在清洁干燥的器皿中进行存放，以防止发霉。

4、尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等，如必须擦拭则应当小心擦拭，利用科学的方法进行清洁。

5、导轨、丝杆、螺母与轴孔部分等传动部件，应当保持良好的润滑。因此必要时要使用精密仪表油润滑。

6、在使用时应避免强旋、硬扳等情况，合理恰当的调整部件。

7、避免划伤或腐蚀导轨面丝杆，保持其不失油。

四.激光干涉仪维护说明

1、仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内，防止振动，仪器搬动 时，应托住底座，以防导轨变形。 　 

2、光学零件不用时，应存放在清洁的干燥盆内，以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭，必要擦拭时，须先用备件毛刷小心掸去灰尘，再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和乙醚混合液轻拭。

3、传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分，应用T5精密仪表油润滑。

4、使用时，各调整部位用力要适当，不要强旋、硬扳。

5、导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀，用毕后，仍保持不失油状态。

6、 经过精密调整的仪器部件上的螺丝，都涂有红漆，不要擅自转动。

五.中图SJ6000激光干涉仪技术参数

      系统性能

2  测量方式：单频

2  稳频：0.05ppm

2  动态采集频率：50 kHz

2  预热时间：5-10分钟

2  工作温度范围：0~40℃

2  环境温度范围：0~40℃

2  存储温度范围：-20℃~70℃

      环境补偿示值误差

2  空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

2  材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

2  空气湿度传感器：±6% (0-95%)

2  大气压力传感器：±1mBar (650-1150mbar)

      线性测量

2  测量距离：0-40m

2  测量：0.5ppm (0-40℃)

2  测量分辨率：1nm