一.SJ6000激光干涉仪概述

 激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量测试方法，是公认的高、高灵敏度的检测手段，在高端制造领域应用广泛。

SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组与激光配合，得到不同的干涉信号，然后通过高激光干涉信号处理系统得到干涉数据，将数据通过计算机进行显示和动态分析。

二.SJ6000激光干涉仪功能

1.几何检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等；
2.位置的检测及其自动补偿 可检测数控机床定位、重复定位、微量位移等；

3.动态性能检测 利用动态特性测量与评估软件，可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析，滚珠丝杠的动态特性分析，伺服驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性(低速爬行)分析。

三.SJ6000激光干涉仪技术参数