一.中图激光干涉仪产品优势

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1.测量高、速度快，稳定性好

①使用美国高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高稳频(0.05ppm)

②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级

③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。

④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量

⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

2. 应用范围广

①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测

②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析

③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析

3.软件界面友好

①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。

②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。

③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。

4 性价比高

性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。

二.中图激光干涉仪功能特点

1.测量高：以激光干涉技术为，分辨率可达纳米级；采用高环境补偿模块，解决温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响；使用激光热稳频控制系统，保证激光长期稳频；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，保证干涉光路稳定。

2.中图激光干涉仪具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位、重复定位等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度；并且可满足回转轴分度的测量。

3.可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，满足机床误差修正的要求。

4.中图激光干涉仪具有动态测量（位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线）及测量振幅和频率分析的功能，可进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等。

5.内置各种类国标（GB）、ISO（国际）、BS（英制）、美标、DIN（德标）、JIS（日标）等机床检验标准。可依据各种机床标准分析处理数据，并根据测量结果可打印相应的曲线图和数据。

6.中图激光干涉仪可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动对波长进行环境补偿。

7.测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录；可将检定数据输出到Word、Excel、AutoCAD（选配）文档。

8.安装方便：基本重量为15kg，简单便携。

三.中图激光干涉仪技术参数

系统性能

2  测量方式：单频

2  稳频：0.05ppm

2  动态采集频率：50 kHz

2  预热时间：5-10分钟

2  工作温度范围：0~40℃

2  环境温度范围：0~40℃

2  存储温度范围：-20℃~70℃

环境补偿示值误差

2  空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

2  材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

2  空气湿度传感器：±6% (0-95%)

2  大气压力传感器：±1mBar (650-1150mbar)

线性测量

2  测量距离：0-40m

2  测量：0.5ppm (0-40℃)

2  测量分辨率：1nm

2  测量速度：4m/sec

角度测量

2  轴向量程：0-15m

2  测量范围：±10°

2  测量：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）

2  测量分辨率：0.1μm/m

直线度测量

2  轴向量程：0.1-4.0 m

2  测量范围：±2.5 mm

2  测量：±0.5% R±0.5±0.15M2 μm（M为光学镜移动距离，单位：m）

2  测量分辨率：0.01μm