一.激光干涉仪介绍

激光干涉仪是激光在计量领域中成功的应用之一，利用光的干涉实现测量，具有非接触、无损检测的特点，在不同领域都有极为广泛的应用，如利用F-P干涉仪和半导体激光二极管测量大型精密离心静态臂长；利用电子散斑干涉技术实现物体表面微小形变的非接触式测量、李永干涉合成孔径雷达实现对地表变形进行测量；利用相干梯度敏感干涉测量技术对静态断裂现象的测量；利用非共面多光束干涉可以在空间形成二维或三维周期性强度分布，从而被用来制作二维或三维光子晶体；利用全息干涉技术可用于位移及形变测量、应变与应力分析、缺陷或损伤探测、振动模式可视化及测量、晶体和蛋白质生长过程监测、流体中密度场和热对流场的观察与测量、以及光学材料与器件的参数测量等。

二.激光干涉仪用途

1.激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置的理想工具。检定时可按照规定标准处理测量数据并打印出误差曲线，为机床的修正提供可靠依据。

2.激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、 平行度、垂直度等形位误差，在现场使用尤为方便。

3.激光干涉仪可方便地安装在测长机上，取代原测长机的坐标系统，作为一般计量室中的长度基准。

4.激光干涉仪又是一种高的位移传感器，可直接安装于坐标镗、螺丝磨等精密机床及坐标测量机上作为坐标系统，使定位大为提高。

5.激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量元件的检测和刻划功能，仪器可按预定的间距自动完成检测和刻划工作。

6.激光干涉仪与圆分度器结合使用是一套高长度—角度比相计，可作为机床传动链，丝杆螺旋线等误差的测量系统。

三.深圳中图SJ6000激光干涉仪技术参数

      系统性能

2  测量方式：单频

2  稳频：0.05ppm

2  动态采集频率：50 kHz

2  预热时间：5-10分钟

2  工作温度范围：0~40℃

2  环境温度范围：0~40℃

2  存储温度范围：-20℃~70℃

      环境补偿示值误差

2  空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

2  材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

2  空气湿度传感器：±6% (0-95%)

2  大气压力传感器：±1mBar (650-1150mbar)

      线性测量

2  测量距离：0-40m

2  测量：0.5ppm (0-40℃)

2  测量分辨率：1nm

2  测量速度：4m/sec

      角度测量

2  轴向量程：0-15m

2  测量范围：±10°

2  测量：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M为光学镜移动距离，单位：m）

2  测量分辨率：0.1μm/m