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技术参数：SV-2100

X轴（驱动部）

测量范围：100mm

分辨率：0.05μm

长度基准：线性编码器

驱动速度：0-40mm/s

测量速度：0.02-5mm/s

移动方向：向后

直线度：0.15μm/100mm

Z2轴（立柱）

类型：手动操作或电驱动

垂直移动：350mm或550mm*

分辨率*：1μm

检测方法*：旋转编码器

驱动速度*：0-20mm/s

*仅适于电驱动型

检测器：

范围/分辨率：800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm

检测方法：无轨

测力：参见性能参数表

测针针尖：参见性能参数表

类型：差动电感式

控制器：

显示：7.5〞带背光的TFT液晶显示

打印机：内置热敏打印机

放大倍率：垂直: X10- X500,000，自动     水平: X0.5- X10,000，自动

驱动装置的控制：通过操纵杆手动手柄的操作

评估能力：

评估轮廓：P（原始轮廓），R（表面粗糙度轮廓），WC,WCA,WE,WEA,包络残余线，粗糙度motif,波形motif

评价参数：

Ra,Rq,Rz,Ry,Rp,Rv,Rt,Sm,S,Pc,R3z,mr(c),Rpk,Rvk, tp,Htp,lrδc,Rk,Mr1,Mr2,Lo,Ppi,R,AR,Rx,A1,A2,Vo,HSC,mr,SK,Ku,△a, △q,λa,λq

粗糙度motif参数：R,AR,RX

波形motif参数：W,AW,Wx,Wte

分析图表：ADC,BAC,功率谱图

数字滤波器2CR-75%,PC-75%,高斯滤波器，鲁棒样条

截止波长