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技术参数：SJ-500

X轴（驱动部）

测量范围：50mm

分辨率：0.05μm

长度基准：线性编码器

驱动速度：0-20mm/s

测量速度：0.02-5mm/s

移动方向：向后

直线度：0.2μm/50mm

定位：±1.5°（倾角，有DAT功能），30mm（向上/向下）

检测器：

范围/分辨率：800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm

检测方法：无轨/有轨测量

测力：参见性能参数表

测针针尖：参见性能参数表

导头曲率半径：40mm

类型：差动电感式

控制器：

显示：7.5〞带背光的TFT液晶显示

打印机：内置热敏打印机

放大倍率：垂直: X10- X500,000，自动     水平: X0.5- X10,000，自动

驱动装置的控制：通过操纵杆手动手柄的操作

技术参数：SV-2100

X轴（驱动部）

测量范围：100mm

分辨率：0.05μm

长度基准：线性编码器

检测方法*：旋转编码器

驱动速度*：0-20mm/s

*仅适于电驱动型

检测器：

范围/分辨率：800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm

检测方法：无轨

测力：参见性能参数表

测针针尖：参见性能参数表

类型：差动电感式

控制器：

显示：7.5〞带背光的TFT液晶显示

打印机：内置热敏打印机

放大倍率：垂直: X10- X500,000，自动     水平: X0.5- X10,000，自动

驱动装置的控制：通过操纵杆手动手柄的操作