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掠入射软X射线谱仪
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248/310G--掠入射软X射线谱仪

主要特点：

>波长覆盖范围：<1nm-310nm

>分辨率可达0.006nm

>+/-4um高罗兰圆结构

>支持单点扫描或阵列探测器（可更换）

>带有隔离阀的高狭缝

>多种掠入射光栅可选，入射角度可调

主要技术参数

波长范围

<1nm-310nm 取决于光栅

光学结构

掠入射，入射出射角度88-84度

真空度支持

10-6Torr,或10－9Torr

焦距长度

1 m

分辨率，半高宽

0.018nm*

色散

0.05-0.27nm每毫米*

焦平面尺寸

40mm

数值孔径

f/44

光栅尺寸

25*20mm

可选探测器

CCD、MCP或单点探测器

狭缝

10um-2mm连续可调，高度2-20mm可调，手动或电动可选

*以上参数均为1200g/mm光栅参数

不同光栅主要参数

光栅密度（g/mm）

2400

2160

1800

1200

600

300

133.6

75

分辨率**

0.009

0.01

0.012

0.018

0.036

0.072

0.16

0.24

色散（nm/mm）

0.03-0.15

0.03-0.16

0.04-0.18

0.05-0.27

0.08-0.34

0.16-0.7

0.4-1.6

13.3

波长范围1nm至

17nm

19nm

23nm

35nm

70nm

140um

310nm

4.8um

原产地

非国产