主要技术参数

波长范围

<30nm-550nm*

光学结构

Seya-Namioka

真空度支持

10^-6Torr，或10^-10Torr（UHV选项）

焦距长度

200mm

分辨率，半高宽

0.1nm*

色散

4nm每毫米

校准

0.1nm

重复性

0.05nm

步距

0.00005nm

焦平面尺寸

25mm

数值孔径

f/4.5

光栅尺寸

40*45mm凹面全息光栅

杂散光抑制比

10^-5

充氮气

可选

可选探测器

CCD、MCP或单点探测器

狭缝

10um-3mm连续可调，高度2-20mm可调，手动或电动可选

不同光栅主要参数

光栅密度（g/mm）

2400

1200

600

300

分辨率**

0.05

0.1

0.2

0.4

色散（nm/mm）

2

4

8

16

波长范围

30-225nm

30-550nm

30-1100nm

30nm-2.2um