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像差校正平场光谱仪
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东方闪光（北京）光电科技有限公司

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251MX--像差校正平场光谱仪

主要特点：

>像差校正光栅

>为MCP及CCD等阵列探测器设计

>快速获取光谱

>真空下切换光栅以及对探测器位置进行调节

>超高真空支持

主要技术参数

焦平面吃醋

1nm-20nm

入射角度

87度

真空度支持

10-6Torr,或10－9Torr

探测器位置

可调节，可旋转

焦平面尺寸

25mm

光栅位置

2块光栅，可在真空下切换

可选探测器

CCD、MCP等阵列探测器

狭缝

10um-3mm可在真空下调节

不同光栅主要参数

型号

入射出射角度

刻线密度G/mm

分辨率（nm）

焦平面尺寸

光谱范围

能量范围

HEG

172

2400

~0.01

20mm

1-5nm

1240-248eV

LEG

167

1200

~0.028

25mm

5-20nm

248-62eV