早引入等离子灭菌技术的是美国强生公司，目前国内的生产厂家如北京凯斯普、成都老肯、山东新华等都是极具度的。
　　过氧化氢等离子体是1990年代开始面世的一项新低温灭菌技术。等离子体被认为是液态、气态、固态之外的第四种状态，是气体分子在极度真空的腔体内受激发而形成的。过氧化氢等离子体灭菌，具有灭菌循环时间短，彻底分解终产物毒性低的优势。然而由于考虑到Mycobacteria tuberculosis污染的问题，美国FDA至今没有批准采用扩散增强器 来解决过氧化氢蒸汽穿透长而窄的管腔物品困难的问题。