SpecEl 椭偏仪

SpecEl-2000-VIS椭偏仪通过测量基底反射的偏振光，进而测量薄膜厚度及材料不同波长处的折射率。SpecEl通过PC控制来实现折射率，吸光率及膜厚的测量。
集成的测量系统

SpecEl由一个集成的光源，一个光谱仪及两个成70°的偏光器构成，并配有一个32位操作系统的PC.该椭偏仪可测量0.1nm-5um厚的单膜，并且折射率测量可达0.005%。

SpecEl软件及Recipe配置文件

通过SpecEI软件，你可以配置及存贮实验设计方法实现一键分析，所有的配置会被存入recipe文件中。创建recipe后，你可以选择不同的recipe来执行你的实验。