箱体材质

304不锈钢，拉丝处理

DN40-KF备用法兰接口

1

整体泄漏率

＜0.05vol%/h

前窗面板

钢化玻璃（有机玻璃选配）

手套

Φ220，丁基橡胶材质，0.4mm厚

照明系统

LED照明

搁物架

固定搁物架

微型过渡舱

Φ150*400mm

大过渡舱尺寸

Φ390*600mm

小仓抽充

手动

大仓抽充

手动

清洗

手动

小仓加热（室温～200℃）

备选

大仓加热（室温～200℃）

备选

气体净化体统类型

单 气体净化柱

气体净化体统型号

EP1100/EP1200

可得水氧含量

水＜1ppm，氧＜1ppm

水分析仪

EM-MT100

氧分析仪

EM-OT100

真空泵

EDWARDS,RV12

油雾过滤器和回油装置

备选

再生功能

自动再生

真空角阀

KF40（国产）

循环风量

60m^3/h，定速

风机控制

EM-BL60

电源要求

220V

主控制器

Siemens PLC（S7-200）

触摸屏

EM-TS7（7寸)

箱体压力控制

±15mbar(国产）

系统主体管路

40管路

内置式冷却装置集成

备选

高温炉（Max 1200℃）

备选

Spin Coater 集成

备选