二次离子质谱概述

u  一定能量的离子打到固体表面会引起表面原子、分子或原子团的二次发射，即离子溅射。溅射的粒子一般以中性为主，其中有一部分带有正、负电荷，这就是二次离子。利用质量分析器接收分析二次离子就得到二次离子质谱。根据溅射的二次离子信号，可对被轰击样品的表面和内部元素及分布特征进行分析。

u  二次离子质谱仪主要用于材料学（半导体、薄层、绝缘材料等）、地质空间学、天体化学、环境微生物学和细胞学。

u  主要功能：

               质谱分析-表面微区元素组成

               痕量元素深度剖析

               二次离子成像及显微图像分布（2＆3D）

               稳定同位素丰度比

               放射性颗粒分析

               地质定年

高分辨率二次离子质谱NanoSIMS 50L

1、专门针对同位素以及痕量元素的高空间分辨率的二次离子探针

2、具有极高的横向分辨率，痕量元素和同位素高灵敏度

- 高空间分辨率（小到50 nm）

- 高灵敏度 （元素分布图像ppm）

- 高质量分辨率（M/dM）

- 快速数据接收（DC mode, 非脉冲模式）

- 可分析绝缘样品

- 同位素分析可达千分之零点几

3、可同时探测5-7种离子

4、探测器可选电子倍增器（成分图像），也可选法拉第杯（高同位素丰度比测量）

高分辨率二次离子质谱应用领域

微生物学：

The NanoSIMS 50L 开启了一条新路径，能够将系统进化识别（phylogenetic identity，with FISH orEl-FISH）与单细胞的新陈代谢功能结合起来（usingstable isotope labeling) 以便研究环境对微生物群体的影响。

N. Musat, MPI Bremen, Germany.

 细胞生物学：

因具有的50nm分辨率以及能够测同位素比的能力，NanoSIMS50L 能够针对单个细胞，对那些做了同位素标识的分子在这个个细胞内部聚集和流动情况进行测量。

C. Lechene and D.P. Corey, Harvard MedicalSchool & Brigham Women's Hospital, USA.

 地质和空间科学：

NanoSIMS 50L可以深入亚微米（sub-micron）区域，针对对来自于行星间的尘埃粒子、陨石以及矿物截面内部的小粒子或夹杂，测定元素和同位素。在使用多个法拉第杯以及几个微米大小束斑的配置下，所给出的同位素比的以及外部重复性均小到千分之零点几。J. Moreau et al., SCIENCE.

 材料研究：

归功于高质量分辨率下的高灵敏度（没有质量干扰），NanoSIMS 50L 能够以50nm的横向分辨率对痕量元素（掺杂）做元素分布图和定量测量，包括电绝缘材料。