主要特性与技术指标

一般特性

• 使用平面反射镜光学器件可实现 0.15 nm 的位置分辨率
• 使用 15 MHz 分裂式激光头，平面反射镜级速度达到 ± 2.29 m/s。
• 接收机灵敏度：0.065 µW
• 循环误差补偿选件现已发布

与平面反射镜光学器件一起使用

• 分辨率： 0.15 nm
• 使用 15 MHz 分裂式激光头时的速度： ± 2.29 m/s；使用 7.5 MHz 分裂式激光头时的速度： ± 1.1 m/s

计时

• 定位更新速率： 10 MHz

具体特性

• 每个系统配备多达 8 个电路板，用于 31 个轴的同时测量
• 10/100 Base T LAN 连接；支持 DHCP；使用 Web 浏览器设置多种触发选项来进行定时数据捕获
• 以 10 MHz（10 个有效位/轴）的频率同时输出 4 轴位置
• 以 10 MHz/(轴数)的频率提供 36 位双路补偿硬件位置输出