FSG 系列小流量气体质量流量传感器

小流量气体传感器均采用（MEMS）流量传感芯片来制作。产品适用于各类清洁气体的应用。独特的封装技术使之可应用于各类管径（3～50mm）。成本低、易安装、不需温压补偿，可替代容积式或压差原理的传统流量计并可配以多种信号输出，通过通讯接口实现网络管理功能。

产品特点

传感器灵敏度搞，极小的始动流量

传感芯片采用热质量流量计量，无需温度及压力补偿，保障了传感器的高计量

在单个芯片上实现了多传感器集成，使传感器的量程比大大提高

8～24V供电

传感器零点稳定度较传统的热式质量流量计有极大的改善

结合二次仪表的微控制器智能技术，使该流量传感器重复性好，实现了计量准确可靠

独特的封装技术采用直接测量，无需旁路，压力损失大幅度减小

与智能流量计算机相连，可远传数据，也可现场显示

本传感器有RS485通讯模块，配合上位计算机网络可实现集中管理
用户根据需要可以选择4～20mA输出、电平输出或脉冲输出模块
体积小、安装方便
可用于小至3mm的管径，特别对于微流量测量和控制有其独特的优越性

FSG 系列小流量气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（ MEMS ）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。独特的封装技术使之可用于各类管径，成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计并配以多种信号输出，通过通讯接口可实现网络化管理功能。

产品特点：

传感器灵敏度高，有极小的始动流量

传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高计量

在单个芯片上实现了多传感器集成，使传感器的量程比大大提高；

传感器的零点稳定度高

全量程高稳定性

全量程高度和优良的重复性

低功耗

低压损

响应时间快

技术参数

外形图

（ FSG4003 ）

（ FSG4008 ）

输出引线定义

通讯方式

本传感器通讯方式为 RS232 。

波特率 38400; 数据位 8; 停止位 1; 校验位 / 流控制 无。

按以下步骤读取数字信息：

a ）通过 RS232 向传感器送 0x9d （ 并取得返回信号 0x9d ）；

b ）通过 RS232 向传感器送 0x54 （并取得返回信号 0x54 ）；

c ）流量计进入操作模式， RS232 将每隔一秒输出一组数据：

V=vvvv\nF=ffffff\n A=0\n;\n

V=vvvv 电压内码值；

F=ffffff 瞬时流量（相当于 fff.fffNL/min 或者 SCCM ）

A=0 总流量（本传感器未提供总流量，故 A=0 ）。

按以下步骤停止数据通讯：

a ）通过 RS232 向传感器送 0x9d （并取得返回信号 0x9d ）；

b ）通过 RS232 向传感器送 0x00 （并取得返回信号 0x00 ）；

c ）流量计进入用户模式， RS232 数据通讯停止。

安装使用

1.打开产品包装盒，包装盒内应包含下列物品：

a ）气体质量流量传感器一只

b ）连接电缆一根 ( 或与传感器一体 )

c ） 用户手册一份

d ）合格证一份

2. 确认传感器无任何机械损坏。

3. 将传感器安装到管道上，保证前端有大于 10cm 的直管段，后端有大于 5cm 的直管段，并且直管段与传感器上的管道保持同心 , 传感器、直管段固定可靠。传感器、直管段应固定可靠，如图所示。

注意：安装使用时，一定要保证传感器前端有大于 10cm 的直管段，后端有大于 5cm 的直管段，并且直管段与传感器上的管道保持同心 , 传感器、直管段固定可靠。 如果不能保证直管段，矽翔公司将不保证传感器的。

4.将传感器的引线按照所给定义正确连接到使用装置上，屏蔽线接到保护地上。

5. 确认连接正确后，接通电源。

6. 接通电源预热 15 分钟后测量的参数值会更高。

安全及维护

1. 安全使用

产品用于有害气体或爆炸性气体须严格按照产品使用说明的限制。有关产品应用的新信息，请与厂家联系索取或访问公司网站。 强腐蚀性或氟化物气体可能影响产品正常工作，甚至对产品造成毁损。

产品经过密封处理并在装箱前进行过防漏试验，在高压下使用必须按照产品使用说明的限制，否则会导致泄漏及安全问题。