SET3/1064/532/355，SFT3：激光调阻机解决方案

产品特点：

--调阻高：先进的激光器提供了TEM00高光束质量和极细线宽的激光束；四线制高速测量系统，测量时间仅为25us；拥有软件预调误差补偿功能；

--调阻速度快：先进的激光器拥有极高的重复频率，在保证光斑重叠率的情况下能拥有很高速度；德国进口扫描振镜，扫描速度极快；高分步重复机构，空气轴承，移动速度及加速度快；

--可靠性高：整机配置器件均采用原装进口配置；采用花岗岩台座，稳定可靠；

--功能强大：拥有温度实时补偿功能；同时具有激光划片和打标功能；

--运行及维护成本低廉：采用半导体端面泵浦或光纤激光器；使用寿命长，性能稳定；电光转换效率高，节约用电成本；采用风冷系统，无须外置冷却设备；操作简单，无须高额培训成本；

技术参数：

--激光器系统：

激光类型：半导体端面泵浦激光器 / 光纤激光器

激光波长：1064/532/355nm

激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)

激光频率：200Hz-50KHz

典型光斑尺寸：30μm

实际切口取决于材料、光学器件和波长；可根据需要选配532绿激光或355紫外激光小光斑达12μm

泵浦源使用寿命：20,000—100，000小时

冷却方式：风冷

对焦方式：计算机程序控制

--激光束定位系统：

激光束运动范围：75mmX75mm（可选配其他规格）

点到点运动时间：5ms（典型）

速度：7000mm/s

重复定位：2.5μm

激光束小步进：0.76μm

--图像监视系统：

监视方式：激光同轴监视

放大倍数：>100倍

图像监视显示屏：19寸液晶

--测量系统：

激励方式：电流/电压激励

恒流源：0.01μA~100mA计算机程控选择

恒压源：0~20V计算机程控选择（可选其它电压范围）

电阻测量方式：四线制加电流测电压

直流电压测量：10mV~10V（满程电压）

调节对象发热控制：程序可设定

电阻测量：低阻：<0.05%+1%/R  （R<100Ω）     

中阻：<0.05%

高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ）

电阻测量范围：0.01Ω-500MΩ

电阻测量速度：25μs

直流电压分辨率：0.16μV（在10mV满量程条件下）

探针板：44针11组四线制（可选其它规格）

探针板运动：计算机程序控制

--计算机及软件系统：

工业控制计算机（双核），17寸液晶

操作系统：Windows XP

VB平台开发的可视化应用软件，界面友好，功能强大

--分步重复运动系统：

运动XY范围：290x260mm

运动分辨率：1μm

定位：小于6μm（带误差补偿）

重复定位：小于3μm   

运动速度：900mm/s

具有温度补偿等功能

--非接触温度测量：

温度测量：0.2℃

调阻温度修正：计算机程序控制

--其它技术指标：

供电电压：220V AC

整机功耗：小于1000W

应用和市场：主要应用于厚膜、薄膜电路的精密调节。广泛应用于厚膜混合集成电路、电子元器件、汽车电器、传感器、科研、片式电阻等行业。

武汉三工光电设备制造有限公司，集研发、生产、销售一体的化激光生产厂家

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