INFICON PEG100真空潘宁规提供了可靠的高真空测量。无高真空灯丝。由于等离子点火的钛阴极板和高电压降低，潘宁规也可以应用在阴极溅射镀膜工艺上。

特点：

>测量范围广：5 X 10 -7～1 Pa

>全金属冷阴极陶瓷传感器

>新型几何电极提供了极好的点火性能

>降低等离子点火高电压和钛阴极板污染的危险，即使在氩溅射过程中也一样

>阳极环和钛阴极可清洗，更换容易

>小磁场强度测量

>LED指示灯电源和等离子点火

>对数模拟输出信号

>Fieldbus总线接口（Profibus DB, DeviceNet）,集成到真空系统的网络通信