高纯水设备的EDI工艺系统选用经过反渗透除盐后的水作为进水，再经过EDI模块内离子交换树脂进行二次除盐;这样可以使纯水制造过程连续化，它替代了传统DI混合树脂床制造去离子水的方法，避免使用酸碱再生;大量减少酸碱成本投入的同时也可以有效避免环境污染。

超纯水机，是采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。 超纯水机又称做：超纯水器，超纯水设备，超纯水仪，超纯水系统，实验室超纯水器等。

实验室超纯水机大致分为预处理、反渗透、超纯化、终端超滤四个单元。自来水首先通过预处理单元，去除水中较大的颗粒、悬浮物以及部分有机物。然后进入反渗透单元，对水中的离子物质和大分子物质（如病毒、微生物等）进行截留性去除。之后再经过纯化和超纯化单元，对经过膜去除后残余的微少离子进行纯化和超纯化，使水中的离子含量降低到痕量水平。后通过UV、超滤等技术确保超纯水中的微生物、有机物和热原满足各类实验应用需求。