供应INFICON CDG025电容薄膜规
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INFICON SKY CDG025D电容膜片真空计属于高温度补偿型真空机,在苛刻的生产环境中具有稳定的性能,先进的数字电子学提高真空计的性能和易于使用的特点,如一键调零功能和设点调整,抗腐蚀性的超纯陶瓷传感器具有卓越的零点稳定性与预期数百万次压强周期包括大气冲击的长使用寿命。独特的传感器屏敝(技术)保护真空计防止过程污染。坚固耐用的机械结构和数字电子学加强了EMC兼容性,长期稳定性和温度补偿性。CDG025D真空计为从电源接通后的快速稳定与暴露大气压后快速恢复等特性设定了新的标准。

优 点      全刻度范围从100毫乇…1000乇       电源接通后的快速稳定性       暴露大气压后的快速恢复性
      抗腐蚀性陶瓷传感监测器       卓越的长期讯号稳定性       温度补偿       保护传感器防止污染       一键调零功能       宽范围电源       2个设点(选项)       RS232接口(选项) 用 途 要求高的应用条件下,而快速的压强测量:       用于刻蚀,CVD, PVD, ALD半导体制造设备       资料贮存和显示器制造设备       工业真空设备       常用高真空测量 订 货 资 料 CDG025D 全刻度范围                               法兰型式
Torr Pascal Mbar 1/2”tube DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8 VCR
1000 133322 1333 375-000 375-001 375-002 375-003
100 13332 133 376-000 376-001 376-002 376-003
10 1333 13.3 377-000 377-001 377-002 377-003
1 13.3 0.13 378-000 378-001 378-002 378-003
0.1 13.3 0.13 379-000 379-001 379-002 379-003