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2179是一种通用型弹性密封的质量流量控制器,它带有一个关闭阀,可在多种应用场合测量和控制气体的流量。配上合适的压力传感器,它还可以用作压力控制器。
常闭的气密关闭阀门正向关闭时的泄漏量仅为4 x 10-9 scc/sec(He)。它具有数字和模拟两种模式,其为全量程的1%和读数的1%。2179具有很小的功耗:在常规直流±15V供电工作时,单元电流仅有100mA(在初开机阶段为200mA)。
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