概要

为监测半导体制造工艺中氢氟酸浓度而开发出来的高氢氟酸浓度计。该设备通过采用电磁感应导电率计测量并实时显示氢氟酸浓度。广泛适用于各个使用氢氟酸的制造工艺，例如：清洗蚀刻后的晶片。

特征

实时显示氢氟酸浓度
可以通过导电率传感器检测氢氟酸浓度，通过<导电率>-<氟酸浓度>的检量线，自动地实时显示氟酸浓度。

实现了半导体制造工艺中低浓度范围的高
产品几乎覆盖了半导体制造工艺中所使用的氢氟酸溶液的全部量程(0-1/2/5/10/20wt%)。即使在0-1wt%的低浓度量程中，也实现了±2%F.S.以内的再现。适合于要求低浓度范围控制的存储器生产线中发挥出威力。

确保稳定检测的传感器
沉浸型传感器已经完全被PFA树脂模块化，所以不会因氢氟酸溶液而发生金属腐蚀现象。并且，金属等不纯物不会溶入到样品溶液中，因此可以对其进行稳定的检测。

装有报警功能
为了实现更加可靠的工艺管理，分别具有浓度输出以及浓度上限・浓度上上限・浓度下限・浓度下下限的报警输出功能。

可以用于多用途
采用小巧的DIN96尺寸的转换器。小型・轻便，适于组装到氟酸的稀释装置、供给装置、晶片的清洗装置中。并且，具有直接浸没到液体中的沉浸型传感器(CM-200)和设置在工艺配管中的流通形传感器(CM-210)。您可以根据用途自由选择。

规格

应用：

蚀刻工业、半导体

测量原理

2个环状螺线管(T1是通过交流电的励磁变压器、T2是检测变压器)被模块化于传感器的塑料外壳内部。当传感器沉浸在溶液中时，溶液将在2个环状螺线管之间产生一个闭合回路。如果环状螺线管T1的线圈中通过一恒定的交流电流，则会在磁圈中产生一恒定的磁场，依照样品的导电率电流i流过样品溶液。根据电流i环状螺线管T2中将会产生相应的磁场，并且在T2的线圈中将会产生感应电动势。由于感应电动势e(电压)与样品的电导率呈比例关系，通过测量e可得知电导率值。这样经过检测的导电率和氢氟酸浓度存在极高的关联性，可以根据预已知的参考曲线计算得出并显示氢氟酸浓度。