PEV-1压电阀（PEV-1　PIEZOELECTRIC　GAS　LEAK　VALVE）是为了适用真空系统的高气体流量控制阀门，主要应用领域包括：磁控溅射镀膜，光学镀膜，ITO镀膜，等离子体刻蚀等。可与国产自动压强控制仪配套使用，来实现闭环控制，达到稳定压强的目的，性价比高。
　　
　　技术参数：
　　
　　阀门类型：压电晶体
　　可控制的气体：兼容各种材料
　　流量范围：0？500　SCCM
　　漏率：<1x10？9　scc/sec（1ATM　HE　ON　INLET）
　　响应时间：2微秒
　　进气压力：50　PSI
　　驱动要求：电压：0？100　VDC，电流：<10μA
　　操作温度范围：＋10°C　to＋60°C
　　材料：316不绣刚，氟橡胶，特富龙，陶瓷片
　　进气和出气连接：1/4"Swagelok　Fittings
　　电气连接：标准BNC
　　重量：800克