varian 扩散泵
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产品属性
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型号 | AX-65 | HS-6 | VHS-4 | VHS-6 | VHS-250 | VHS-10 | VHS-400 | HS-16 | HS-32 | NHS-35 |
抽速空气 | 65 | 160 | 750 | 1550 | 2125 | 3650 | 4500 | 6000 | 17300 | 28000 |
前级耐压Torr/mbar 没有负载 有负载 |
0.75/1.0 0.6/0.78 |
0.55/0.72 0.4/0.52 |
0.65/0.86 0.55/0.72 |
0.65/0.85 0.55/0.72 |
0.65/0.85 0.55/0.72 |
0.65/0.85 0.55/0.72 |
0.65/0.82 0.55/0.72 |
0.65/0.82 0.55/0.72 |
0.50/0.65 0.35/0.45 |
0.55/0.71 0.40/0.52 |
推荐前级泵抽速m 3 /hr | 0.15/0.25 | 5.0/8.5 | 10/17 | 17/28.9 | 17/28.9 | 30/51 | 30/51 | 80/136 | 300/510 | 300/510 |
返油率mg/cm 2 /min 标准冷带 |
2*10 -4 | 1*10 -3 | 5*10 -4 | 5*10 -4 | 5*10 -4 | 5*10 -4 | 1*10 -3 | 1*10 -3 | 7*10 -4 | 5*10 -4 |
启动时间(min) | 7 | 15 | 10 | 10 | 15 | 15 | 30 | 45 | 60 | -- |
电源 |
1ph,50/60Hz, 90/115/165/220V |
1ph,50/60Hz, 120/240V |
1ph,50/60Hz, 120/208/240V |
3ph,50/60Hz, 120208/240V |
3ph,50/60Hz, 208/240/380/480V |
3ph,50/60Hz, 208/240/380/480V |
3ph,50/60Hz, 208/240/380/480V |
3ph,50/60Hz, 240/415/480V |
3ph,50/60Hz, 240/415/480V |
50/60Hz, 240/415/480V |
功率 | 200/250 | 450 | 1450 | 2200 | 2200 | 4400 | 4400 | 8100/9600 | 2400 | 2400 |
冷却水l/hr,15-26°C | N/A | 0.1/20 | 0.15/30 | 0.25/50 | 0.25/50 | 0.4/80 | 0.4/80 | 1.5/300 | 4.0/800 | 4.0/800 |