Varian公司利用干式涡旋真空获得技术为用户提供了高抽速，低极限压强的涡旋式干泵产品，这种干式涡旋泵具有全无油、高耐用性、高可靠性，噪音小等特点。
　　特点：
　　※抽气效率高，极限压强低且无油
　　※独特的Triscroll技术使Triscroll我寻干泵具有可靠性和耐久性
　　※轴承保护充气口，大大提高了抽除可凝性气体的能力，改善可靠性，延长维修周期
　　※自动气振阀，改善了对水蒸气及其他可凝性气体的抽气效果，使优越的性能保持一致

其他说明

型号	SH110	TS300	TS600	TS600Inverter	TS300Inverter
抽速50Hz, l/min,m3/h(cfm)	90,5.4/3.3	210,12.6/7.4	420,25.2/14.8	250,15/8.8	500,30/17.7
极限压强Torr/mbar	6 x 10 -2 5 x 10 -2	1.3 x 10 -2 1 x 10 -2	9.3 x 10 -3 7 x 10 -3	1.3 x 10 -2 1 x 10 -2	9.3 x 10 -3 7 x 10 -3
抽气口压强atm	1.0	1.0	1.0	1.0	1.0
排气口压强atm	1.5/7.5	1.1/1.5	1.1/1.5	1.1/1.5	1.1/1.5
抽气口接口	NW25	NW25	NW25	NW25