多角度激光椭偏仪（pH-LE型）专门针对晶硅太阳能电池绒面上的减反膜测量，能够测量薄膜厚度及其光学常数，使用632.8nm波长氦氖激光器，具有极高的度和准确度。
　　
　　多角度激光椭偏仪-产品特点
　　
　　■可以测量单晶电池片、多晶电池片
　　■可以测量抛光片，度和准确度极高
　　■可以测量粗糙表面的“绒片”
　　■适用于对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的低反射光强进行测量
　　■可对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的退偏因数（偏振因数）进行测量和评估，提高测量
　　■配置有高稳定度补偿器，提供小的漂移值和小的测量误差
　　■配置有高的自动光学对准显微镜
　　■可进行20°−90°范围内的多角度测量
　　
　　多角度激光椭偏仪-测量特点
　　
　　■非破环性检测
　　■样品准直简单方便
　　■测量速度快
　　■可变入射角范围宽
　　■测量
　　■软件分析功能强

　　多角度激光椭偏仪-技术指标
　　
　　■光源：He-Ne激光器
　　■光斑直径：1-2mm
　　■入射角范围：20°到90°，5°/步
　　■：0.002°~0.02°
　　■膜厚：0.01mm，对100nmSiO2on Si
　　■折射率：0.0005，对100nmSiO2on Si
　　■激光光斑：直径1mm
　　■激光波长632.8 nm