CS-4小型探针台

CS系列探针台可用于6英寸以内样品测试 ；

可满足I-V/C-V，PIV测试，光电测试等。

特点/应用

◆ 满足I-V/C-V，PIV测试，光电测试等

◆ 可用于6英寸以内样品测试

◆ 同轴丝杠传动结构，线性移动

◆ 可放置于手套箱内使用

◆ 形状轻巧，操作方便，价格实惠

探针台-台体规格

尺寸：4英寸/6英寸

水平旋转：可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置

X-Y移动行程：4英寸*4英寸

X-Y移动精度：10微米

样品台Z轴调节：可升降10mm

样品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环

针座平台：U型针座平台，最多可放置6个探针座

背电极测试：样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极

外形尺寸：400mm长*400mm宽*500mm高

重量：约25千克

光学系统

显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜

放大倍率：16X-200X

移动行程：水平方向绕立柱360度旋转，Z轴50.8mm

光源：外置LED无极调节亮度环形光源

CCD：200万像素/500万像素/1200万像素

探针座

X-Y-Z移动行程：12mm*12mm*12mm

移动精度：10um/2um/0.7um/0.5um

吸附方式：磁力吸附/真空吸附

线缆：同轴线/三轴线

漏电精度：10pA/100fA/10fA

固定探针：弹簧固定/管状固定

接头类型：BNC/三同轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

针尖直径：0.2um/1um/2um/5um/10um/20um

针尖材质：钨钢/铍铜

可选附件

加热台、显示器、转接头、射频测试配件、屏蔽箱、光学平台、镀金卡盘、光电测试配件

可接受定制