Etalon激光跟踪仪的主要技术参数：
　　激光跟踪仪是专门为机床及三坐标测量仪而开发的测量仪器。激光跟踪仪是一种具有温度稳定性的跟踪干涉仪。其主要技术参数如下所示：
　　分辨率：0，001µm
　　长度测量误差：0，2µm＋0，3µm／m
　　测量范围：10m，通过数学叠加可以扩展
　　
　　检测方法的优势：
　　使用Etalon激光跟踪仪进行误差检测及捕捉具有如下优势：
　　高效性：对机床整个工作空间的误差测定仅需几个小时
　　性：通过高激光长度测量独立完成对误差的完整分析
　　创新性：使用激光跟踪仪能在机床或三坐标测量仪整个工作空间内进行完整测量
　　完整性：所有现存机床几何误差的捕捉、评估及可视化
　　灵活性：根据客户需求可将测量到的误差转化成AFM格式校正数据。