产品特点：
　　1、非接触式测量：避免对象受损。
　　2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm---200μm。
　　3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
　　4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。
　　5、高速数字讯号处理器：实现测量仅需要几秒钟。
　　6、扫描仪：采用死循环控制系统。
　　7、工作台：气动装置、抗震、抗压。
　　8、测量软件：基于windows操作系统的使用者接口，强大而快速的运算。
　　
　　应用领域：
　　1、半导体芯片
　　2、液晶产品（CS，LGP，BIU）
　　3、微机电系统
　　4、光纤产品
　　5、资料存储盘（HDD，DVD，CD）
　　6、材料研究
　　7、精密加工表面
　　8、生物医学工程