紫光微粒检出机系利用特殊的UV灯源，透过滤光片过滤产生出介于295nm到420nm波长的紫外光。该波段针对任何可能具有荧光成分的尘屑(如PCB之纤维、树酯…等)、水渍、油渍及一些容易静电吸附的异物，具有很好的辨识效果，作业员可轻易用眼睛辨视出来，并透过无尘布的擦拭而达到清洁之目的。
   由于业者常利用紫光微粒检出机来检查大型设备的落尘状况，但是因为部分机台内部管道狭窄，人员不易进出，故希望能缩小机台的重量或是体积。有鉴于此，光晟日前正式推出轻巧型手电筒式紫光微粒检出机，可大幅提高使用之方便性。据了解，该新机型除沿用颇受好评锂电模块，另提供座充及机台直接充电两种选择。使用者不必担心机台使用到一半而电力耗尽，可迅速作备份锂电模块之更换。

除此之外，光晟全新推出之UV Free之表面检查灯有别于紫光微粒检出机，专门适用于如晶圆、玻璃光罩、LCD ITO、DVD、光学玻璃等工作对象检查。UV Free之表面检查灯利用500nm以上眼睛感觉舒服的波段，来做particle及刮伤的判别检查。操作者长时间操作对眼睛并不造成负担，也不容易感到疲倦。

   光晟表示，由于客户可分别利用紫光微粒检出机及UV Free表面检查灯做设备及工作对象清洁度管理，进而提高制程良率。因此目前该公司的产品已获得国内各半导体、PCB、LCD及光电大厂广泛采用。