＆Oslash；通过自动定位功能提高操作性测量样品时，以往需花费约10秒的样品对焦，现在3秒内即可完成，大大提高样品定位的操作性。
　　＆Oslash；微区膜厚测量提高通过缩小与样品间的距离等，致使在微小准直器（0.1、0.2mm）下，也能够大幅度提高膜厚测量的。
　　＆Oslash；多达5层的多镀层测量使用薄膜FP法软件，即使没有厚度标准片也可进行多达5层10元素的多镀层测量。
　　＆Oslash；广域观察系统（选配）可从250×200mm的样品整体图像指定测量位置。
　　＆Oslash；对应大型印刷线路板（选配）可对600×600mm的大型印刷线路板进行测量。
　　＆Oslash；低价位与以往机型相比，既提高了功能性又降低20%以上的价格。