规格参数：
　　EF-4030A
　　量测范围
　　00mm*300mm*150mm
　　机身材质00级花岗岩
　　稳定的结构，几乎没有内应力造成型变问题
　　工作台材质
　　控制系统台达
　　A2伺服电机
　　光学尺0.5μ方波全差分信号
　　
　　光学系统
　　1：
　　明暗场工具显微镜
　　大倍率
　　较小面积的检视划伤用及检视离子用
　　光学系统
　　2：
　　明暗场变焦显微镜
　　专用暗场技术
　　较大面积的检视划伤用
　　照明系统
　　1：
　　同轴光与暗场光
　　检视ITO玻璃及检视离子用
　　照明系统
　　2：
　　同轴光与特有之暗场光
　　检视ITO玻璃
　　CCD摄像系统
　　3：
　　大范围可调动参数之专用相机
　　检视ITO玻璃专用
　　量测（3＋5L/1 000mm）μ