产品简介
　　OWT-200才用PHYS独有技术，对透明、半透明、不透明几乎所有的材料的厚度，TTV，LTV，弯曲度，平整度进行无接触测量，其对透明、半透明材料的高测量的性价比在同类测试仪器中是无可比拟的。
　　产品特征
　　■无接触无损伤测量
　　■高度及重复性
　　
　　■测量材料范围广，透明、半透明、不透明几乎所有材料的
　　厚度/弯曲度/平整度/LTV/TTV
　　■抗干扰强，稳定性好
　　■强大的工控机控制和大屏幕显示
　　■一体化设计操作更方便，系统稳定
　　■为晶圆硅片关键生产工艺提供的无接触测量
　　■超高测试速度
　　
　　技术指标
　　■测试尺寸：50mm-200mm.
　　■厚度测试范围：1000 um，可扩展到1700 um
　　■厚度测试：＋/-0.1um
　　■厚度重复性：0.050um
　　■TTV 测试：＋/-0.1um
　　■TTV重复性：0.01um
　　■Warp/Bow：0.2um
　　■Warp/Bow重复度：0.5um
　　■测量时间：<100秒
　　■材料：透明、半透明、不透明几乎所有的材料
　　■尺寸：560X650X400mm
　　■电源：220V 50Hz 300W