分辨率：优于25nm
　　
　　电子枪：1500小时CeB6灯丝
　　
　　抽真空时间：10秒
　　
　　样品移动方式：自动马达样品台
　　
　　样品定位方式：光学和低倍电子双重导航
　　
　　样品导电性要求：无需喷金，直接观测绝缘体
　　
　　拓展功能：3D粗糙度重建、纤维统计测量，高倍拼图等
　　
　　环境扫描选件（ESEM）：温控样品台，可直接观测液体。