扫描电镜
价格:电议
地区: 上海市
传 真:86-21-28986356
销量突破2000台!
飞纳台式扫描电镜能谱版
——智能、高效、能谱电镜一体化
放大倍数:20×-100,000×
分辨率:优于18nm
电子枪:1500小时CeB6灯丝
抽真空时间:10秒
加速电压:5/10/15 kV 三档
能谱仪EDS元素分析功能
拓展功能:3D粗糙度重建、纤维统计测量,高倍拼图等
Phenom ProX(飞纳台式扫描电镜能谱版)是Phenom第三代产品,结合了表面成像功能和元素分析能谱EDS功能,能谱仪 EDS的可以准确的进行样品表面元素的定性和定量分析。
电镜能谱一体化设计,简洁小巧
Phenom ProX 的能谱仪EDS是针对台式电镜设计的,本着台式电镜简单易用,售后无忧的宗旨,Phenom ProX的能谱仪EDS 系统完全嵌入在电镜主机中,利用半导体制冷,无需额外冷却系统。下图是传统电镜能谱仪系统与Phenom ProX的对比图
带能谱仪DES的传统电镜
Phenom ProX
电镜分辨率显著提高
Phenom Pro 100000倍
Phenom ProX 100000倍
瞬间得到样品表面形貌和元素含量
步:利用成像模式得到高分辨率的照片,背散射电子给出丰富的成份像,杂质一目了然
第二步:如果需要分析元素含量,瞬间切换到成份分析模式,点击感兴趣的区域,立刻给出定量定性分析元素名称和含量分布
5kV,10kV,15kV 三档加速电压
Phenom ProX提供三档加速电压,用户可根据样品类型和测试目的,灵活切换
5kV:血液绝缘体直接观测模式
适合对电子束敏感的样品
10kV:电路板分辨率模式
适合绝大部分样品
15kV:电路板元素分析模式
X射线特征谱线更明显
表面形貌和成分信息同时展现
背散射电子的产率、出射角度与样品成份及表面形貌相关。Phenom(飞纳)采用4分割半导体背散射电子探测器,为您提供两种成像模式,模式之间可迅速切换:
?成份模式:同时给出样品表面形貌与成份信息,不同元素可由其灰度对比度的不同加以分辨
?形貌模式:去除成份信息,样品表面凹凸起伏等微观结构更加明晰,适用于表面粗糙度和缺陷分析
成份模式
4分割背散射电子探测器扇区所得的信号相叠加
形貌模式
4分割背散射电子探测器扇区所得的信号相抵消
成份模式图像包含样品成份与形貌信息
形貌模式图像仅突出样品表面形貌特征
直接观看绝缘体,无需喷金
Phenom(飞纳)采用低真空技术,出射电子与空气分子碰撞产生正离子,正离子与样品表面累积的电子中和,有效抑制荷电效应的产生,直接观测各种不导电样品(如下图所示)。
利用降低荷电效应样品杯,更可将开始荷电的放大倍数提高8倍左右,而且不会影响灯丝寿命,
操作简便,全程导航
?自动/手动聚焦
Phenom(飞纳)操作界面。通过点击右侧图标可以轻松完成图像缩放、聚焦、亮度对比度调节、旋转等操作。界面右侧显示光学导航和低倍SEM导航窗口,方便用户在不同样品、不同区域间进行切换。