探针座有如图所示,EB005、EB050和EB700三个系列。
EB005规格
* 尺寸 90mmW x 130mmD x 90mmH
* 重量 1000克
* 0.7μm(可提升到0.35μm)
* 牙距 100牙/英寸
* X-Y-Z线性移动范围 12mmX12mmX12mm
* 特点:,可靠性非常好
EB050规格
* 尺寸 52mmW x 96mmD x 76mmH
* 重量 550克
* 5μm
* 牙距 80牙/英寸
* X-Y-Z线性移动范围 12mmX12mmX12mm
* 特点:大部分情况下均可使用此款,可靠性非常好
EB700规格
* 尺寸 38mmW x 62mmD x 45mmH
* 重量 200克
* 10μm
* 牙距 40牙/英寸
* X-Y-Z线性移动范围 12mmX12mmX12mm
* 特点:成本低,可靠性好
特点:
* 真空吸附型,需配一台小型真空泵,能够方便地吸附在平台表面进行固定和定位,比磁铁吸附的操控更加灵活。
* EB系列探针座是线性移动,有些仿制的探针座,在探针移动的时候,走的是蛇行的路线,给点针造成困难。
* 奕叶探针台是目前台湾地区一家采用瑞士螺纹的探针台。
* EB-005探针座完全可以达到0.7μm的线性移动,理论是0.5μm,厂商给出的保守数据是0.7μm.
* EB-005探针座可以选择牙距为200牙/英寸的高配置,达到0.35μm的极高。
* EB-005探针座是目前半导体业内精准度的探针座之一。由于芯片点测的终细调都是由探针座来完成,一般探针平台不是太差的情况下,选用高的探针座,可以达到提升探针台整体系统性能的重要作用,是您高性能价格比的选择。