＆Oslash；移动范围：X 轴驱动部：100mm，电动立柱（垂直方向）：250mm
　　＆Oslash；Z 轴测量范围：1000μm（粗糙度时）、50mm（轮廓度时）
　　＆Oslash；直线度：粗糙度时（0.05＋1.0L/1000）μm，L：测量长度（mm）轮廓度时1μm/100μm
　　＆Oslash；测量（轮廓）：Z 轴（垂直方向）指示±（1.8＋│2H│/100）μm Z 轴分辨率 0.1μm/50mm，X 轴（横方指示±（1＋2L/100）μm，L＝测量长度（mm），粗糙度：X 轴分辨率0.1μm

　　＆Oslash；粗糙度解析项目：测量参数（JIS，ISO，DIN，ASME，CNOMO 等标准）评价曲线（断面曲线，粗度曲线，波纹度曲线等）、特性图形（负荷曲线，振幅分布曲线等）
　　＆Oslash；记录倍率：纵倍率（粗糙度用）50，100，200，500，1K，2K，5K，10K，等及自动横倍率（粗糙度用）50，100，200，500，1K，2K，5K，10K，等及自动纵倍率（轮廓用）0.01～10，000，000倍（任意，自动可）横倍率（轮廓用）0.01～10，00，000倍（任意，自动可）
　　＆Oslash；滤波种类：标准型滤波（2CR），位相补偿滤波（2CR），高斯滤波。
　　＆Oslash；取样长度：0.025，0.08，0.25，0.8，2.5，8，25mm（7种）及任意。
　　＆Oslash；驱动速度：粗糙度0.03～3mm/s；波纹度 0.03～20mm/s
　　＆Oslash；传感器：差动变压式原理和光栅尺