用于配合CAD/CAM系统进行检验的三坐标测量机也与原来适合于传统工加工模具的可移动式三坐标测量机不同。现在所用的三坐标测量机都带有自动化测量系统。

　　这种三坐标测量机在3250X2090X1370mm的测度空间中的任何一点的定位为0.015mm.可测量冲模或塑料模的零件质量为40吨。为了使测量机保持其的测量，应将它放在与外界环境隔绝的独立机房中，室温应保持20℃。为了防止振动对测量带来不良影响，应将测量机安装在由气垫支承的质量为100吨的混凝土底座上。

　　在加工时，三坐标测量机不仅可作为一种终检验模具品质的工具，也应该作为一种对加工过程进行检测的工具。即在加工过程中对各道工序加工后进行中途检验。例如对加工后模具的主要型腔面进行检验。特别是在抛光之前应对加工面作全面的检验，以便确定如何更地达到加工面所需的几何形状。

　　在对模具进行检验时，需以较密的流线通过零件的各处。每一副模具需检验两次。在冲压加工之前，另在冲压加工以后。应用理论计算厚度对上、下模型腔的对合状况进行测量，以掌握实现CAD设计数据的实际状况。