SW-6500D型多晶硅过程气体分析系统
　　
　　系统介绍：
　　SW-6500D型多晶硅过程气体分析系统可连续监测工业硅提纯的三氯氢硅氢还原工艺中氢气的氧含量和微水含量以及在尾气管道保护气氮气的氧含量和微水含量，从而保证后提炼超纯硅的品质。
　　
　　系统特点：
　　
　　  取样探头为可插拔式探头，方便更换滤芯
　　  过滤器可过粉尘和硅粉，过滤为0.3μm
　　  大屏幕现场就地显示
　　  采用进口陶瓷阻抗式露点分析仪
　　
　　技术参数：
　　
　　  型号：SW-6500D
　　  信号输出：4-20 mA输出
　　  响应时间：T90＜30s
　　  工作温度：-20º～＋60º
　　  电源：220 VAC
　　  防护等级：IP65
　　  系统部件：316L不锈钢
　　  防爆标准：符合EEx ia IIC T4
　　
　　微量水分析仪：
　　  测量范围：＋20～-100℃
　　  ：＋20～-60℃露点范围内为±1º，-60～-100℃露点范围内为±2º
　　  工作压力：真空～40 MPa
　　  防爆标准：非现场显示型符合EEx ia IIC T4
　　
　　氧含量分析仪：
　　  测量范围：0-25％（量程任选）
　　  ：＜1％FS