FS1015系列微机电气体质量流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。
　　
　　产品特点：
　　
　　-传感器灵敏度高，有极小的始动流量
　　-传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高计量
　　-在单个芯片上集成了多个传感器，使传感器的量程比大大提高；
　　-传感器的零点稳定度高
　　-全量程高稳定性
　　-全量程高度和优良的重复性
　　-低功耗＜100 mW，低压损＜1300 Pa
　　-响应时间快 8 msec